新聞動態
News Information
在半導體應用中,光刻膠涂布生產環節受國外技術壟斷,且傳統進口設備存在的流量波動、維護成本高等缺陷。廣州飛升精密設備有限公司憑借多年的技術積累與不斷的創新,成功研發出可用于半導體光刻膠涂布的注液泵——FSH-EBP系列注液泵。
廣州飛升精密設備有限公司作為一家專注于流體精量控制系統及解決方案的高新技術型企業,始終將研發創新作為企業發展的重要驅動力。在深度了解光刻膠涂布生產工藝的需求后,公司研發團隊投入大量精力,經過無數次的試驗與優化,成功推出這款自主研發的FSH-EBP注液泵。
這款注液泵采用獨特的高精度計量技術,能夠實現對光刻膠的精確輸送,確保在涂布過程中,光刻膠的用量恰到好處,誤差控制在極小范圍內。在穩定性方面,運行平穩,可有效避免因泵體震動或流量波動而對光刻膠涂布質量產生的不良影響。無論是長時間連續工作,還是在高精度要求的復雜工藝中,都能始終保持出色的性能表現。
這款自主研發的注液泵打破了國外半導體在該領域的長期壟斷。以往,國內企業在光刻膠涂布生產中,不得不依賴進口設備,不僅采購成本高,而且在技術服務、設備維護等方面也受到很多限制。如今,廣州飛升的注液泵為國內企業提供了可靠的國產替代方案,降低了企業的生產成本。同時,也為國內半導體產業的自主可控發展提供了有力支撐。
廣州飛升精密設備有限公司自主研發的注液泵,除了在光刻膠涂布生產領域展現出強大的實力與潛力外,其主要技術已成功移植到鈣鈦礦太陽能電池涂布、固態電池涂布等新興領域,為新能源產業的材料涂覆工藝提供了通用型解決方案。
該款產品還可用于如下應用場景:
· 要求高重復精度和直線型的用途——定量性能重視型
例:晶圓涂覆;藥液的填充、稱量、混合
· 要求從涂覆開始到結束的膜厚均勻性的用途——定流量重視型
例:狹縫涂布;磁盤涂覆