FSH-EBP泵系統是廣州飛升精密自主研發設計,全新推出的集高效率、高精度、高穩定性、全數控于一體的智能型注液泵，適用于光刻膠、鈣鈦礦等涂布領域。

?  低粒子結構

?  高精度動作

?  液體置換特性好

?  高可靠性結構

?  除泡性好

?  無污染

① 泵系統型號

舉例說明:

型號：FSH-EBP100-G說明:吐出流量范圍為0.1-100ml，標準型EBP泵系統。

? 晶圓涂覆

?  藥液的填充、稱量和混合

?  狹縫涂布

?  光刻膠涂布

?  磁盤涂覆